ج/ ينتج عند سقوط االلكترونات المعجلة على ذرات مادة الهدف فان هذه االلكترونات تنتزع احد االلكترونات من احد المستويات الداخلية للهدف ويغادر الذرة نهائيا فتحصل حالة التأين، او قد يرتفع الى مدار اكثر طاقة ، وفي كال الحالين تصبح الذرة قلقة )متهيجة( فتحاول العودة الى وضع االستقرار عندما يهبط احد االلكترونات من المستويات العليا ذو الطاقة العالية الى مستوى الطاقة الذي انتزع منه االلكترون يبعث طاقة بشكل فوتون لألشعة السينية طاقته تساوي فرق الطاقة بين المستويين اي ان hf=E2-E1